材料期刊网

YSZ薄膜材料的制备及电导性能

喻维杰 , 谭启 , 彭定坤 , 孟广耀 , 曹传宝 , 胡建恺 , 张裕恒

材料研究学报

检测了用微波等离子体化学气相淀积制备的YSZ薄膜的光学性能.样品对230—900nm光的透过率在72%左右.用交流阻抗谱技术测定了YSZ薄膜在100—700℃的电导性能、以倒扭摆法检测了样品的低频内耗.并分析了YSZ薄膜中氧空位激活和晶界原子弛豫引起的电导变化.

关键词: YSZ薄膜 , oxygen ion conductor , low frequency internal friction